筛弗斯UPW硼分析仪

连续,在线监测硼与Sievers UPW硼分析仪

Sievers硼分析仪能够在去离子化超纯水应用中实现连续、无人值守的超低硼水平在线监测。它每小时可以运行10个样品,检测限(LOD)为15 ppt硼。筛弗斯硼分析仪旨在满足设施经理,DI水工程师和fab工艺工程师的需求。

操作维护方便

Sievers硼分析仪预测混合床枯竭,优化EDI性能,控制抛光回路硼含量。硼分析仪在二氧化硅释放之前检测到硼的增加,这有助于防止二氧化硅泄漏到超纯水中。筛弗斯硼分析仪可以显著降低运营费用,并保持UPW系统的质量。

特点和好处

硼的特性和好处

在具有挑战性的应用程序中增强可靠性和更长的正常运行时间

  • 连续,在线监测低至15 ppt B
  • 多流选项-多达四个样本流
  • 广泛的输出套件-四个隔离的4-20 mA输出,一个隔离的RS-232,一个通用并行打印机端口,两个报警输出,和四个隔离的二进制输出
  • 最少的维护和消耗品
  • 配件套件包括安装所需的配件

应用程序

  • 半导体超纯工艺水
  • 超纯水动力应用

规范

硼规范

操作规范

浓度范围 0.015至20 ppb B
检测限(LOD) 0.015 ppb B
精度 ±0.01 ppb <0.05 ppb
±15% >0.05 ppb
精度 ±3%或0.005 ppb B,以较大者为准
最小的样本
电阻率

15 megaohms-cm

样品的温度 15°-40°C
样品流量 0.1 -0.5升/分
环境温度 10°C-40°C
样品的压力 20-100 psig (138-689 kPa)
校准稳定 通常是12个月
样品颗粒 15微米样品预过滤
浪费 重力漏液(无背压)

仪表规范

输入 5个隔离的二进制输入
输出 4个隔离的4- 20ma输出,1个RS-232(隔离),1个通用并行打印机端口,2个报警输出,4个隔离二进制输出

20.625高× 17.25宽× 12.25深(53 × 44 × 31厘米)

重量 48磅(22公斤)
认证 CE(点击在这里参阅合格声明)

耗材

硼试剂 90天@ 12分钟采样率
45天@ 6.5分钟采样率
试剂列 12个月
0列 12个月