一致的UPW生产和监视
苏伊士为苛刻的半导体市场建立了UPW和回收/回收系统的完全集成。苏伊士专注于关键的微电子制造区域,包括锅炉,冷却塔爱游戏捕鱼游戏,闭环,CMP,进水和废水系统,监测和诊断。苏伊士还建立了UPW系统和洗涤器的过程处理。
这对您意味着什么:
- 转向CMP,晶圆抛光,干净的冲洗,dicing和背部磨碎
- 从海水或咸水来源上
- 废水处理以减少重金属,废酸,颗粒物和有机化合物
- 水回收和再利用系统
- 减少能源计划
- 广泛的敏感总有机碳分析仪,用于UPW和回收水;UPW硼分析仪用于硼/二氧化硅对照。